Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST

Simulationsgestütze Entwicklung von Schichten und Beschichtungsverfahren

• Optimierung von Schichtdickenverteilung
• Vorhersage des Strömungsverhalten in Beschichtungsanlagen
• Berechnung des Plasmabrennens in Physical Vapour Deposition (PVD) Anlagen (physikalische Gasphasenabscheidung)

Weiterentwicklung und Pflege des Particle-in-Cell-Monte Carlo (PIC-MC) Codes zur Berechnung von Niederdruck Plasmen und Strömungsvorgängen

Vergabe von Lizenzen und Durchführung von Kund:innen – bzw. Forschungsprojekten